Aixtron geht seinen Weg

Aixtron liefert MOCVD-Anlage für Zinkoxid-Nanostrukturen nach Schweden
Die Universität Linköping, Schweden, hat im zweiten Quartal 2008 bei Aixtron eine Close Coupled Showerhead (CCS) MOCVD-Anlage bestellt.

Der Auftrag der Universität geht über eine Anlage mit einer Waferkonfiguration von 3x2 Zoll, die im ersten Quartal 2009 ausgeliefert wird. Ausgestattet mit einem Dreikammer-Showerhead, dient sie speziell der Erforschung von Halbleiter-Heterostrukturen auf Zinkoxidbasis.

Prof. Magnus Wallander von der Abteilung -Science and Technology- des Norrköping Campus, Universität Linköping, merkt an: „Einer der Hauptgründe, weshalb wir uns für Aixtron entschieden haben, ist das breite Prozess-Spektrum des CCS-Reaktors. Die Anlage ermöglicht uns das Wachstum homogener Schichtstrukturen mit minimalen Vorreaktionen. Beides sind notwendige Voraussetzungen für die Herstellung dieser interessanten neuen Produktfamilie ZnO-basierender Bauelemente. All diese Aspekte, der guten Unterstützung vor Ort sowie der Vertrautheit mit einer großen Bandbreite von Materialtechnologien macht die CCS-Reaktoranlage für uns zur ersten Wahl im Vergleich zu anderen Modellen."

Zinkoxid-Nanostrukturen sind aufgrund ihrer besonderen Eigenschaften sehr gut geeignet für kurzwellige optoelektronische Bauelemente wie zum Beispiel weiße LEDs, UV-Biosensoren und Resonatoren. Nanostrukturen könnten zudem in Zukunft als Elektrodenmaterial in Tandem-Solarzellen genutzt werden, bei denen Polymere und so genannte kleine Molekül-Materialien zum Einsatz kommen. Nicht zuletzt sind die ferromagnetischen Eigenschaften von ZnO, dotiert mit seltenen Erdmetallen, auch interessant für das Design von neuartigen Datenspeichergeräten.