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Die Kompressoreinheiten erhöhen den Wasserstoffdruck nach einem Reinigungssystem und ermöglichen so die zuverlässige Bereitstellung von ultrahochreinem Wasserstoff, der für moderne Halbleiterfertigungsprozesse erforderlich ist.
Wasserstoff spielt eine entscheidende Rolle in der Halbleiterproduktion. Er kommt bei wichtigen Fertigungsschritten wie epitaktischem Wachstum, Tempern, Beschichtung und modernen Lithografieverfahren zum Einsatz und trägt dazu bei, die für heutige Halbleiter erforderlichen extrem hohen Anforderungen an Reinheit und Präzision zu erfüllen.
Angetrieben durch anhaltende Investitionen in künstliche Intelligenz, Rechenzentren, moderne Elektronik und digitale Infrastruktur bauen Halbleiterhersteller weltweit ihre Produktionskapazitäten aus. Dieses Wachstum erhöht die Nachfrage nach ultrahochreinen Prozessgasen und den damit verbundenen Kompressionstechnologien, die entlang der gesamten Wertschöpfungskette der Halbleiterindustrie benötigt werden.
Auf Basis der bewährten Kolben- und gasdichten Membrankompressortechnologien von Burckhardt Compression bietet SYCC robuste Lösungen für die Wasserstoffverdichtung, die auf die hohen Anforderungen von Halbleiterproduktionsanlagen an Reinheit, Sicherheit und Zuverlässigkeit ausgelegt sind.
Diese Aufträge stärken die Position von Burckhardt Compression in der Wasserstoffverdichtung weiter und ermöglichen dem Unternehmen auf Basis seines bestehenden Technologieportfolios den Einstieg in einen neuen Markt.
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