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Die Chipfertigungsmaschine der nächsten Generation von ASML Holding ist nun bereit für den Einsatz in der Massenproduktion, wie ein leitender Angestellter des Unternehmens gegenüber Reuters erklärte. Dieser Fortschritt stellt einen bedeutenden Meilenstein für die gesamte Chipindustrie dar.
ASML ist der einzige Hersteller weltweit, der kommerzielle EUV-Werkzeuge (Extreme Ultraviolet Lithography) produziert, die für Chiphersteller unverzichtbar sind. Die neue Maschine wird führenden Unternehmen wie Taiwan Semiconductor Manufacturing und Intel helfen, leistungsstärkere und effizientere Chips zu entwickeln, indem sie mehrere komplexe und kostspielige Schritte aus dem Herstellungsprozess eliminiert. Diese Daten sollen am Donnerstag auf einer Fachkonferenz in San Jose veröffentlicht werden, erklärte Marco Pieters, der Chief Technology Officer von ASML.
Die Entwicklung der neuen Werkzeuge war ein jahrelanger Prozess, da Chiphersteller versuchten, den richtigen Zeitpunkt zu ermitteln, an dem der Einsatz dieser Maschinen für die Massenproduktion wirtschaftlich sinnvoll wäre. Die neuen High-NA-EUV-Werkzeuge kosten etwa 400 Millionen US-Dollar, was doppelt so viel ist wie die ursprünglichen EUV-Maschinen.
Trotz der hohen Kosten weisen die neuen Maschinen nun nur noch begrenzte Ausfallzeiten auf und haben bereits 500.000 siliziumhaltige Wafer produziert, die die Größe eines Esstellers haben. Sie bieten eine ausreichende Präzision, um die feinen Muster zu zeichnen, aus denen die Schaltkreise auf den Chips bestehen, wie aus den aktuellen Daten von ASML hervorgeht.
Autor: sbh-Redaktion/neb
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