DGAP-News: Lambda Physik AG deutsch
Jenoptik AG und Lambda Physik AG erhalten 1. Auftrag für EUV-Strahlquellen
Corporate-News übermittelt durch die DGAP.
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent verantwortlich.
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Jena / Göttingen, 17. September 2002 - Das Nanotechnologie Joint Venture XTREME
technologies GmbH der JENOPTIK AG (WKN 622 910) und der Lambda Physik AG (WKN
549 427) hat wesentlich früher als ursprünglich erwartet den ersten Auftrag für
EUV-Strahlquellen erhalten. Auftraggeber ist der britische Mikrostepper-
Hersteller Exitech. Die Mikrostepper werden u.a. bei International SEMATECH, USA
zur Entwicklung der EUV-Prozeßtechnologie eingesetzt.
Die Auslieferung der Extrem-Ultraviolett (EUV)-Strahlquellen ist für 2003
vorgesehen. Ursprünglich wurden die ersten Umsätze mit EUV-Strahlquellen für
2004/2005 erwartet. Die Vergabe des Auftrags an XTREME technologies ist somit
als früher technologischer und ökonomischer Erfolg des Joint Ventures zu werten.
XTREME technologies und Exitech haben eine langfristige Kooperation zur
Entwicklung der EUV-Technologie für Mikrostepper vereinbart. Die Einführung der
EUV-Technologie in die Produktion immer leistungsfähigerer Mikrochips in der
Halbleiterindustrie wird ab 2007 erwartet. Sie ist die Nachfolgetechnologie für
die derzeit eingesetzte Excimerlasertechnologie, deren kürzeste verfügbare
Wellenlänge von 157nm ab 2005/2006 zum Einsatz in der Produktion kommen soll.
Aktuell werden Wellenlängen von 248nm und 193nm in der Produktion von Mikrochips
eingesetzt. Während die 157nm-Technologie auf Strukturgrößen von 50 bis 70
Nanometer zielt, sollen mit der EUV-Technologie Strukturgrößen von 35 Nanometer
ermöglicht werden.
"Der EUV-Mikrostepper wird in der ersten Testphase der übernächsten Generation
optischer Lithographiesysteme eingesetzt," erläutert Dr. Malcolm Gower,
Präsident der Exitech Ltd. in Oxford, GB. "Diese beginnt bereits 3-5 Jahre vor
dem eigentlichen Einsatz in der Chipproduktion und ermöglicht frühe Erkenntnisse
über die Optik, die Materialien sowie die Meßtechnik, aber auch über die
Performance der späteren Produktionssysteme. Wir haben uns für XTREME
technologies entschieden, weil diese die derzeit leistungsstärkste und stabilste
EUV-Strahlquelle weltweit anbieten."
"Wir freuen uns sehr über diesen frühen Auftrag, der die hervorragende
technologische Positionierung unseres Joint Ventures mit der Jenoptik
untermauert," kommentiert Dr. Dirk Basting, Vorstandsvorsitzender der Lambda
Physik AG. "XTREME technologies hat in kürzester Zeit eine exzellente
technologische Performance demonstriert und nun sogar deutlich früher als
erwartet den ersten Auftrag erhalten. Dies zeigt, daß wir mit unserer
Investition in die Zukunft auf dem richtigen Weg sind," so Dr. Basting weiter
über das gemeinsame Joint Venture.
Über Exitech Ltd. (www.exitech.co.uk)
Exitech Ltd. ist ein führender Hersteller von Laserproduktionssystemen für die
Mikromaterialbearbeitung in der Halbleiterindustrie, der Mikroelektronik, der
Flachbildschirm- und Computerindustrie, der Photonik, der Telekommunikation und
der Biomedizin. Exitech wurde 1984 gegründet und war das erste Unternehmen, das
die Mikromaterialbearbeitung durch Lasertechnologie in die kommerzielle
Anwendung überführt hat. Seit 1994 hat Exitech eine Reihe von Mikrosteppern der
Wellenlängen 248nm, 193nm und 157nm an die Halbleiterindustrie geliefert.
Exitech ist zudem Lieferant von Mikrosteppern für die Konsortien International
SEMATECH, Austin, Texas und SELETE, Tsuba, Tokyo. Mit Hauptsitz in Oxford,
England ist Exitech mit Tochterunternehmen in Foster City, Kalifornien und
Tokyo, Japan weltweit vertreten.
Über Jenoptik AG (www.jenoptik.com)
Die JENOPTIK Aktiengesellschaft (WKN 622910) ist ein weltweit tätiger
Technologiekonzern mit Sitz in Jena. Sie konzentriert sich auf die
wachstumsstarken Unternehmensbereiche Clean Systems Technologies und Photonics
Technologies. Das Unternehmen ist 1991 aus der JENOPTIK Carl Zeiss JENA GmbH
hervorgegangen. Seit Juni 1998 ist die JENOPTIK AG an der Frankfurter
Wertpapierbörse notiert und wird im M-Dax geführt.
Über Lambda Physik AG (www.lambdaphysik.com)
Lambda Physik zählt zu den Pionieren und weltweit führenden Unternehmen in der
Entwicklung und Herstellung gepulster UV-Laser wie Excimerlaser, diodengepumpter
Festkörperlaser und Farbstofflaser. Das 1971 gegründete Unternehmen ist
alleiniger bzw. führender Anbieter in Wachstumsmärkten für Anwendungen im
Bereich der Industrie, Wissenschaft und Medizin und zu einem bedeutenden
Anbieter in der Mikrolithographie avanciert. Zum Konzern gehören
Tochtergesellschaften in den USA, Japan und Deutschland.
Weitere Informationen erhalten Sie bei:
Jenoptik AG
Jörg Hettmann
Carl-Zeiß-Straße 1
07739 Jena
Deutschland
Tel.: +49 (0) 3641 652-255
Fax: +49 (0) 3641 652-484
E-Mail: pr@jenoptik.com
Lambda Physik AG
Claudia Thomé
Hans-Böckler-Str. 12
37079 Göttingen
Deutschland
Tel.: +49 (0)551 6938-113
Fax: +49 (0)551 68691
E-Mail: ir@lambdaphysik.com
Ende der Mitteilung, (c)DGAP 17.09.2002
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WKN: 549427; ISIN: DE0005494272; Index: Nemax 50
Notiert: Neuer Markt in Frankfurt; Freiverkehr in Berlin, Bremen, Düsseldorf,
Hamburg, Hannover, München und Stuttgart
170825 Sep 02
Jenoptik AG und Lambda Physik AG erhalten 1. Auftrag für EUV-Strahlquellen
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Jena / Göttingen, 17. September 2002 - Das Nanotechnologie Joint Venture XTREME
technologies GmbH der JENOPTIK AG (WKN 622 910) und der Lambda Physik AG (WKN
549 427) hat wesentlich früher als ursprünglich erwartet den ersten Auftrag für
EUV-Strahlquellen erhalten. Auftraggeber ist der britische Mikrostepper-
Hersteller Exitech. Die Mikrostepper werden u.a. bei International SEMATECH, USA
zur Entwicklung der EUV-Prozeßtechnologie eingesetzt.
Die Auslieferung der Extrem-Ultraviolett (EUV)-Strahlquellen ist für 2003
vorgesehen. Ursprünglich wurden die ersten Umsätze mit EUV-Strahlquellen für
2004/2005 erwartet. Die Vergabe des Auftrags an XTREME technologies ist somit
als früher technologischer und ökonomischer Erfolg des Joint Ventures zu werten.
XTREME technologies und Exitech haben eine langfristige Kooperation zur
Entwicklung der EUV-Technologie für Mikrostepper vereinbart. Die Einführung der
EUV-Technologie in die Produktion immer leistungsfähigerer Mikrochips in der
Halbleiterindustrie wird ab 2007 erwartet. Sie ist die Nachfolgetechnologie für
die derzeit eingesetzte Excimerlasertechnologie, deren kürzeste verfügbare
Wellenlänge von 157nm ab 2005/2006 zum Einsatz in der Produktion kommen soll.
Aktuell werden Wellenlängen von 248nm und 193nm in der Produktion von Mikrochips
eingesetzt. Während die 157nm-Technologie auf Strukturgrößen von 50 bis 70
Nanometer zielt, sollen mit der EUV-Technologie Strukturgrößen von 35 Nanometer
ermöglicht werden.
"Der EUV-Mikrostepper wird in der ersten Testphase der übernächsten Generation
optischer Lithographiesysteme eingesetzt," erläutert Dr. Malcolm Gower,
Präsident der Exitech Ltd. in Oxford, GB. "Diese beginnt bereits 3-5 Jahre vor
dem eigentlichen Einsatz in der Chipproduktion und ermöglicht frühe Erkenntnisse
über die Optik, die Materialien sowie die Meßtechnik, aber auch über die
Performance der späteren Produktionssysteme. Wir haben uns für XTREME
technologies entschieden, weil diese die derzeit leistungsstärkste und stabilste
EUV-Strahlquelle weltweit anbieten."
"Wir freuen uns sehr über diesen frühen Auftrag, der die hervorragende
technologische Positionierung unseres Joint Ventures mit der Jenoptik
untermauert," kommentiert Dr. Dirk Basting, Vorstandsvorsitzender der Lambda
Physik AG. "XTREME technologies hat in kürzester Zeit eine exzellente
technologische Performance demonstriert und nun sogar deutlich früher als
erwartet den ersten Auftrag erhalten. Dies zeigt, daß wir mit unserer
Investition in die Zukunft auf dem richtigen Weg sind," so Dr. Basting weiter
über das gemeinsame Joint Venture.
Über Exitech Ltd. (www.exitech.co.uk)
Exitech Ltd. ist ein führender Hersteller von Laserproduktionssystemen für die
Mikromaterialbearbeitung in der Halbleiterindustrie, der Mikroelektronik, der
Flachbildschirm- und Computerindustrie, der Photonik, der Telekommunikation und
der Biomedizin. Exitech wurde 1984 gegründet und war das erste Unternehmen, das
die Mikromaterialbearbeitung durch Lasertechnologie in die kommerzielle
Anwendung überführt hat. Seit 1994 hat Exitech eine Reihe von Mikrosteppern der
Wellenlängen 248nm, 193nm und 157nm an die Halbleiterindustrie geliefert.
Exitech ist zudem Lieferant von Mikrosteppern für die Konsortien International
SEMATECH, Austin, Texas und SELETE, Tsuba, Tokyo. Mit Hauptsitz in Oxford,
England ist Exitech mit Tochterunternehmen in Foster City, Kalifornien und
Tokyo, Japan weltweit vertreten.
Über Jenoptik AG (www.jenoptik.com)
Die JENOPTIK Aktiengesellschaft (WKN 622910) ist ein weltweit tätiger
Technologiekonzern mit Sitz in Jena. Sie konzentriert sich auf die
wachstumsstarken Unternehmensbereiche Clean Systems Technologies und Photonics
Technologies. Das Unternehmen ist 1991 aus der JENOPTIK Carl Zeiss JENA GmbH
hervorgegangen. Seit Juni 1998 ist die JENOPTIK AG an der Frankfurter
Wertpapierbörse notiert und wird im M-Dax geführt.
Über Lambda Physik AG (www.lambdaphysik.com)
Lambda Physik zählt zu den Pionieren und weltweit führenden Unternehmen in der
Entwicklung und Herstellung gepulster UV-Laser wie Excimerlaser, diodengepumpter
Festkörperlaser und Farbstofflaser. Das 1971 gegründete Unternehmen ist
alleiniger bzw. führender Anbieter in Wachstumsmärkten für Anwendungen im
Bereich der Industrie, Wissenschaft und Medizin und zu einem bedeutenden
Anbieter in der Mikrolithographie avanciert. Zum Konzern gehören
Tochtergesellschaften in den USA, Japan und Deutschland.
Weitere Informationen erhalten Sie bei:
Jenoptik AG
Jörg Hettmann
Carl-Zeiß-Straße 1
07739 Jena
Deutschland
Tel.: +49 (0) 3641 652-255
Fax: +49 (0) 3641 652-484
E-Mail: pr@jenoptik.com
Lambda Physik AG
Claudia Thomé
Hans-Böckler-Str. 12
37079 Göttingen
Deutschland
Tel.: +49 (0)551 6938-113
Fax: +49 (0)551 68691
E-Mail: ir@lambdaphysik.com
Ende der Mitteilung, (c)DGAP 17.09.2002
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WKN: 549427; ISIN: DE0005494272; Index: Nemax 50
Notiert: Neuer Markt in Frankfurt; Freiverkehr in Berlin, Bremen, Düsseldorf,
Hamburg, Hannover, München und Stuttgart
170825 Sep 02
